半导体设备板块早盘冲高回落，截至午间收盘，中证半导体材料设备主题指数下跌 1.1%，中证芯片产业指数下跌 2.6%，上证科创板芯片指数下跌 2.6%，上证科创板芯片设计主题指数下跌 4.0%。同花顺 iFinD 数据显示，半导体设备 ETF 易方达（159558，联接基金 A/C：021893/021894）半日获 6.63 亿份净申购。