来源：新浪证券 - 红岸工作室

6 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为 " 环形加热器和半导体加工设备 " 的专利，授权公告号 CN224356283U，授权公告日为 2026 年 6 月 12 日。申请号为 CN202521313317.0，申请公布日期为 2026 年 6 月 12 日，申请日期为 2025 年 6 月 24 日，发明人王新征、王国超，专利代理机构北京博遵律师事务所，专利代理师王春锋，分类号 H05B3/02、H05B3/06。

专利摘要显示，本申请提供了一种环形加热器和半导体加工设备，该环形加热器包括环形壳体，环形壳体内部形成环形容纳腔；加热件，加热件包括加热段和引出段，加热段包括在环形容纳腔内环绕的多圈加热部，引出段的一端连接于加热段的端部，引出段的另一端位于环形壳体的外部。本申请的环形加热器将加热件的加热部分设置于环形壳体内部的环形容纳腔，加热件的加热段包括在环形容纳腔内环绕的多圈加热部，多圈加热部连续环绕形成加热段，既保证了加热段的结构整体性，又提高了加热段的加热均匀性，减少了热量损失。

微导纳米成立于 2015 年 12 月 25 日，于 2022 年 12 月 23 日在上海证券交易所上市，注册地与办公地均为江苏省无锡市。公司是国内领先的 ALD 设备制造商，核心业务为先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备，其 ALD 技术具备较高技术壁垒。

微导纳米主营业务是以 ALD 技术为核心，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案，所属申万行业为电力设备 - 光伏设备 - 光伏加工设备，概念板块包含半导体设备、专精特新、OLED。

2025 年，微导纳米实现营业收入 26.33 亿元，在行业 12 家公司中排名第 9，远低于第一名捷佳伟创的 154.72 亿元和第二名晶盛机电的 113.57 亿元，行业平均数为 56.11 亿元，中位数为 45.56 亿元。其主营业务中，光伏设备营收 15.91 亿元，占比 60.43%；半导体设备营收 8.81 亿元，占比 33.45%。净利润方面，2025 年为 2.19 亿元，行业排名第 7，第一名捷佳伟创为 26.18 亿元，第二名晶盛机电为 8.59 亿元，行业平均数为 5.17 亿元，中位数为 2.96 亿元。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：