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ASML计划提高光刻机价格:包括EUV和DUV系统,台积电表示抵制
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近日 ASML(阿斯麦)公布了 2026 年第二季度财报,主要财务指标均高于上一季度给出的指引。ASML 在 2026 年上半年的订单依然强劲,为此上调了全年净销售额和毛利率。另外 ASML 计划 2027 年 EUV 与 DUV 光刻机的产能在 2026 年约 65/130 台基础上增加 30%,另外还会研究 2028 年产能再增加 30%,并继续大幅扩展升级业务组合。

据 TrendForce 报道,ASML 正在寻求提高芯片制造设备的价格,不但包括先进的 EUV,还有相对旧一些的 DUV。这种做法也遭到了部分客户的反对,比如台积电(TSMC)就表示抵制,而部分中国大陆客户已经同意 ASML 将 DUV 系统的定价提高 10%。

目前最新的 High-NA EUV 光刻机售价高达 4 亿美元,让台积电对这项投资持谨慎态度。截至 2029 年的路线图,台积电没有任何涉及使用 High-NA EUV 光刻机的技术,即便是路线图上最先进的 A13 和 A12。相比之下,英特尔要积极得多,与台积电的做法形成了鲜明的对比。ASML 已经官宣英特尔的 Intel 18A 生产线已完成 High-NA EUV 双重认证,用于大规模生产,良品率达到了现有 NXE EUV 平台的水平。

据了解,ASML 的 EUV 产能满载,至 2027 年末的订单已经排满。在 ASML 看来,旗下部分产品的价格仍有上调空间。ASML 首席财务官 Roger Dassen 表示,强劲的需求增强了公司的定价能力,赋予了更大的灵活性,为进一步涨价留有充足空间。

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