新浪财经 06-10
中科飞测取得测量方法相关专利,测量方法可提高对表面及侧壁测量精度
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来源:新浪证券 - 红岸工作室

6 月 10 日消息,国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为 " 一种测量方法、测量系统及测量设备 " 的专利,授权公告号 CN117781923B,授权公告日为 2026 年 6 月 9 日。申请公布号为 CN117781923A,申请号为 CN202211155665.0,申请公布日期为 2026 年 6 月 9 日,申请日期为 2022 年 9 月 22 日,发明人陈鲁、刘欢敏、贺金龙、张嵩,专利代理机构深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师王仲凯,分类号 G01B11/24。

专利摘要显示,一种测量方法、测量系统及测量设备,其中所述测量方法包括:通过所述第一测量组件对所述第一表面进行测量,获取第一表面在所述测量坐标系下的坐标得到第一基准面;根据待测侧壁的第一待测位置与第一表面的第一参考位置关系,获取第一待测位置在所述测量坐标系的第一位置坐标,所述第一位置坐标与第一基准面的相对位置关系与所述第一参考位置关系相同;使所述第二测量组件根据所述第一位置坐标对第一待测位置进行测量,获取所述第一待测位置沿待测方向的测量坐标,所述待测方向与所述第一基准面平行或所述待测方向与第一基准面具有锐角夹角。本申请的测量方法能够提高测量精度。

中科飞测成立于 2014 年 12 月 31 日,于 2023 年 5 月 19 日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均在广东省深圳市。它是国内领先的集成电路检测和量测设备供应商,具备全产业链技术能力,投资价值凸显。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,涉及半导体设备、中芯国际概念、半导体产业等概念板块。

2025 年,中科飞测营业收入 20.53 亿元,行业排名 11/25,远低于第一名北方华创的 393.53 亿元和第二名中微公司的 123.85 亿元,行业平均数为 41.44 亿元,中位数为 14.26 亿元。主营业务中,检测设备营收 13.64 亿元,占比 66.43%;量测设备 6.23 亿元,占比 30.36%;其他(补充)5335.18 万元,占比 2.60%;软件 1262.64 万元,占比 0.61%。净利润 5865.26 万元,行业排名 19/25,与第一名北方华创的 54.09 亿元、第二名中微公司的 20.64 亿元差距明显,行业平均数为 6.09 亿元,中位数为 1.77 亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下:

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