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江丰电子申请MoSi靶材制备相关专利,预合金化烧结改善MoSi靶材成分与含氧量
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来源:新浪证券 - 红岸工作室

6 月 17 日消息,国家知识产权局信息显示,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为 " 一种成分均匀低氧 MoSi 合金靶材制备方法 " 的专利。申请公布号为 CN122214801A,申请号为 CN202610643371.4,申请公布日期为 2026 年 6 月 16 日,申请日期为 2026 年 5 月 11 日,发明人边逸军、姚力军、陈少辉,专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司,专利代理师马哲,分类号 C23C14/34、C22C27/04、C22C1/04。

专利摘要显示,本发明提供一种成分均匀低氧 MoSi 合金靶材制备方法,所述制备方法包括:将钼粉和硅粉进行第一混合,并进行预烧结得到预烧料;对所述预烧料进行细化处理,得到预烧粉体;所述预烧粉体进行第二混合,得到混合料;所述混合料进行热等静压烧结,得到所述 MoSi 合金靶材。该制备方法采用先将钼粉和硅粉预合金化的方式,再进行烧结以改善成分均匀性差和氧含量高的问题,原料粉末经过预合金化后形成稳定的 MoSi2 相,成分含量稳定且球磨时不易增加氧含量。

江丰电子成立于 2005 年 4 月 14 日,于 2017 年 6 月 15 日在深圳证券交易所上市,注册地址与办公地址均位于浙江省。它是国内高纯溅射靶材行业的领先企业,掌握先进技术,产品广泛应用于半导体等领域。

江丰电子主要从事高纯溅射靶材的研发、生产和销售业务以及金属材料制造,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,涉及半导体材料、靶材、电子化学品等概念板块。

2025 年,江丰电子营业收入达 46.04 亿元,在 26 家同行业公司中排名第 3,行业第一名有研新材为 95.42 亿元,第二名雅克科技为 86.11 亿元,行业平均数为 19.89 亿元,中位数为 11.14 亿元。其主营业务中,超高纯靶材收入 28.5 亿元,占比 61.90%;精密零部件收入 10.84 亿元,占比 23.54%;其他收入 6.7 亿元,占比 14.56%。净利润方面,2025 年江丰电子达 4.14 亿元,在同行业 26 家公司中排名第 2,行业第一名雅克科技为 10.3 亿元,行业平均数为 3265.85 万元,中位数为 8178.71 万元。

宁波江丰电子材料股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开 ( 公告 ) 号公开 ( 公告 ) 日期发明人 1 一种成分均匀低氧 MoSi 合金靶材制备方法发明专利公布 CN202610643371.42026-05-11CN122214801A2026-06-16 边逸军、姚力军、陈少辉 2 一种辉光放电质谱仪检测 AlSiCu 合金的方法发明专利公布 CN202610615075.32026-05-07CN122193370A2026-06-12 边逸军、姚力军、武威、钟伟华 3 一种静电吸盘的钎焊方法发明专利公布 CN202610567255.92026-04-27CN122184494A2026-06-12 边逸军、姚力军、李建 4 一种半导体喷淋头枪钻孔的检测方法发明专利公布 CN202610567332.02026-04-27CN122217239A2026-06-16 姚力军、段振宇 5 一种熔盐电解制备高纯钒粉的方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610540600.X2026-04-22CN122105533A2026-05-29 边逸军、姚力军、孙慧芳、吴东青 6 用于真空钎焊的装夹结构及铝合金板材的真空钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610464597.82026-04-09CN122033372A2026-05-15 边逸军、姚力军、王勇、杨慧珍、周友平、廖培君 7 一种陶瓷基板翘曲度的检测方法发明专利公布 CN202610456817.22026-04-08CN122192212A2026-06-12 边逸军、姚力军、陈皓玮、孙慧芳 8 一种陶瓷加热盘内部结构的定位方法发明专利公布 CN202610456818.72026-04-08CN122212770A2026-06-16 边逸军、姚力军、王浩、杨慧珍、李爽、王佳乾 9 一种钨靶材晶粒粒度的检测方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610392953.X2026-03-27CN122084472A2026-05-26 边逸军、姚力军、朱海清 10 一种制备性能优异的钴锂合金靶材的方法发明专利公布 CN202610392958.22026-03-27CN122143195A2026-06-05 边逸军、姚力军、杜浩楠、廖培君、吴东青、汤婷、刘荣 11 一种气体分配盘的电子束焊接方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610293853.12026-03-11CN121847925A2026-04-14 姚力军、谢宇轩 12 一种用于半导体花洒的进气工装发明专利实质审查的生效、公布 CN202610293848.02026-03-11CN121988469A2026-05-08 姚力军、毛成城、张林桥 13 一种铁氧体材料表面的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610287953.32026-03-10CN121869762A2026-04-17 边逸军、姚力军、华东瑜 14 一种高性能锰锌铁氧体粉末的制备方法发明专利公布 CN202610287963.72026-03-10CN122127142A2026-06-02 边逸军、姚力军、华东瑜 15 一种 MoSi 靶材 EBSD 检测的制样方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610266068.72026-03-05CN122084665A2026-05-26 边逸军、姚力军、周佳焕 16 一种五氧化二钒靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610266071.92026-03-05CN122102688A2026-05-29 边逸军、姚力军、柳盼、汪焱斌、慕二龙 17 一种靶材用高纯铬粉的制备方法发明专利公布 CN202610266070.42026-03-05CN122147257A2026-06-05 边逸军、姚力军、周友平、石钦浩、慕二龙 18 一种陶瓷覆铜用无氧铜及其真空熔炼方法发明专利公布 CN202610266064.92026-03-05CN122147106A2026-06-05 边逸军、姚力军、陈勇军、陆彤、茅奇浩、周友平 19 一种气体分配盘的气密性检测方法和装置、设备、介质发明专利实质审查的生效、公布 CN202610235574.X2026-02-27CN121994419A2026-05-08 姚力军、俞航科 20 一种真空密封设备的密封圈泄漏自检系统和方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610235566.52026-02-27CN122016188A2026-05-12 姚舜、赵长鑫、姚力军、王予丛、沈栋栋 21 一种薄壁铝材的氩弧焊焊接方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610235575.42026-02-27CN122058001A2026-05-19 姚力军、方钢峰 22 一种钼硅合金管状靶材及其制备方法和应用发明专利实质审查的生效、公布 CN202610235570.12026-02-27CN122081871A2026-05-26 边逸军、姚力军、李爽、杨慧珍、廖培君 23 一种曲面电致变色玻璃的制备方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610229871.32026-02-26CN121948846A2026-05-01 姚舜、王峰、姚力军、王予丛、沈栋栋 24 一种离子缓存型柔性全固态电致变色器件及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610229874.72026-02-26CN121995677A2026-05-08 姚舜、张伟丰、姚力军、王予丛、沈栋栋 25 一种全固态电致变色器件的退火方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610229870.92026-02-26CN122085566A2026-05-26 姚舜、李松松、姚力军、王予丛、沈栋栋 26 电致变色器件的调试方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布 CN202610225117.22026-02-25CN121806344A2026-04-07 姚舜、李程程、姚力军、王予丛、沈栋栋 27 一种用于玻璃退火的立式料架及玻璃退火方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610225114.92026-02-25CN122036176A2026-05-15 姚舜、刘璐、姚力军、王予丛、沈栋栋 28 一种 PVD 用钽环的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610213431.92026-02-13CN122039071A2026-05-15 姚力军、蔡怀然、汪涛 29 一种氟化锂靶材与背板的绑定方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610152673.12026-02-03CN121951472A2026-05-01 边逸军、姚力军、张雪、吴东青 30 一种铜板材及其制备方法和应用发明专利实质审查的生效、公布 CN202610152684.X2026-02-03CN121951273A2026-05-01 姚力军、陈勇军、陆彤、茅奇浩、林杰、周友平 31 一种钨镍钽合金微观组织形貌腐蚀液及其应用发明专利实质审查的生效、公布 CN202610152685.42026-02-03CN121951539A2026-05-01 边逸军、姚力军、曹硕元、宋阳阳 32 一种用于辉光放电质谱检测的钛铝合金制样方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610137092.02026-01-30CN121917305A2026-04-24 边逸军、姚力军、邵常伟、钟伟华、温毅博 33 一种氮化铝陶瓷的扩散焊接方法、氮化铝陶瓷加热盘发明专利实质审查的生效、公布 CN202610137093.52026-01-30CN121948992A2026-05-01 边逸军、姚力军、廖培君、王佳乾、杨慧珍 34 一种高纯钴靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610127708.62026-01-29CN121718812A2026-03-24 边逸军、姚力军、余婷、周友平、陈勇军、吴太永 35 一种铬铝合金用于辉光放电质谱检测的制样方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610127713.72026-01-29CN121804961A2026-04-07 姚力军、邵常伟、钟伟华 36 一种钼硅靶材与钼背板的钎焊方法及靶材组件与应用发明专利实质审查的生效、公布 CN202610127719.42026-01-29CN121870195A2026-04-17 边逸军、姚力军、李爽、杨慧珍、廖培君 37 一种具有 EMBOSS 结构的金属加热盘及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610068819.42026-01-19CN121586111A2026-02-27 边逸军、姚力军、李佳奇、黎志威、吴博 38 一种镍材的电子束焊接方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610068820.72026-01-19CN121715661A2026-03-24 边逸军、姚力军、韩维雪、廖培君、杨慧珍、毛杰 39 一种钼硅旋转靶材和不锈钢背板的焊接方法发明专利公布 CN202610054538.32026-01-15CN121670104A2026-03-17 边逸军、姚力军、柳盼、李爽、汪焱斌、慕二龙、周友平 40 一种靶材表面防氧化的处理方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610054540.02026-01-15CN121700343A2026-03-20 边逸军、姚力军、汪焱斌、张婷婷、廖培君、黄引驰 41 一种靶材组件的背板发明专利实质审查的生效、公布 CN202610046954.92026-01-14CN121718850A2026-03-24 边逸军、姚力军、吕燕妮、钟伟华 42 一种钨硅合金靶材及其制备方法与应用发明专利实质审查的生效、公布 CN202610046956.82026-01-14CN121732803A2026-03-27 姚力军、杨赛赛、吴东青 43 一种靶材冷却背板的冷却介质过流面的处理方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610046955.32026-01-14CN121737699A2026-03-27 边逸军、姚力军、吕燕妮、钟伟华 44 一种电解抛光设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202610046957.22026-01-14CN121781259A2026-04-03 边逸军、姚力军、高翔宇 45 一种靶材夹指结构及靶材夹取方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202511981396.72025-12-25CN121515235A2026-02-13 边逸军、姚力军、张哲镭、张杰烽、张梦珂、胡幸栋 46 一种增加金属 V 槽底部阳极氧化膜厚度的方法发明专利公布 CN202511981395.22025-12-25CN121653792A2026-03-13 边逸军、姚力军、谷森、陈勇军、周友平 47 一种氦检辅助连接装置发明专利实质审查的生效、公布 CN202511981508.92025-12-25CN121762132A2026-03-31 姚力军、褚杲洋、边逸军 48 一种靶材快换装置及更换方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202511981394.82025-12-25CN121781075A2026-04-03 边逸军、姚力军、吴铭乐、徐礼升 49 半导体部件湿润运输装置发明专利实质审查的生效、公布 CN202511968634.02025-12-24CN121493071A2026-02-10 边逸军、姚力军、翁开宇 50 交叉水道毛刺去除方法发明专利实质审查的生效、公布 CN202511968624.72025-12-24CN121491434A2026-02-10 姚力军、张桐滨、王琦

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