近日，半导体设备板块交投活跃，相关 ETF 资金关注度持续提升。数据显示，截至 6 月 12 日，半导体设备 ETF 易方达（159558）近 1 月规模增长 14.34 亿元，近 1 月份额增长 2.27 亿份，近 21 个交易日合计获得资金净流入 7.35 亿元。

二级市场表现方面，截至 6 月 15 日盘中，半导体设备 ETF 易方达（159558）上涨 3.28%，成交额达 5.48 亿元，显示场内交投保持较高活跃度。资金持续流入背后，反映出投资者对半导体设备、材料等国产替代核心环节的关注度提升。

公开资料显示，半导体设备 ETF 易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数，聚焦半导体产业链中设备与材料等关键环节。随着 AI 算力扩张、存储周期回暖、先进制程设备需求提升以及半导体国产化进程推进，半导体设备方向的长期配置价值受到市场关注。

业内人士表示，半导体设备板块兼具科技成长属性和产业自主可控逻辑，短期受市场风险偏好和行业景气预期影响较大，中长期则需关注国产设备订单落地、晶圆厂资本开支节奏以及产业链盈利兑现情况。