金融界 1小时前
通威太阳能取得沉膜装置专利,减少粉尘对基板沉积膜层的影响
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国家知识产权局信息显示,通威太阳能(成都)有限公司取得一项名为 " 沉膜装置 " 的专利,授权公告号 CN224494299U,申请日期为 2025 年 6 月。

专利摘要显示,本申请涉及一种沉膜装置。沉膜装置包括工艺腔、靶材组件、离子源组件以及防护组件,其中工艺腔内形成有磁场,靶材组件设置在工艺腔的底壁,离子源组件设置在工艺腔的侧腔壁,离子源组件用于产生等离子体,并使等离子体在磁场的引导下轰击靶材组件,防护机构包括围挡组件以及冷却模块,围挡组件为两端开口的环形结构,围挡组件设置在工艺腔中并围设在靶材组件的外围,围挡组件的一端开口朝向靶材,围挡组件的另一端开口用于朝向基板,围挡组件的侧壁开设有用于离子源组件穿过的避让口,冷却模块用于对围挡组件进行降温。上述沉膜装置能够减少沉膜过程中工艺腔中粉尘的数量,从而减少了粉尘对基板沉积膜层的影响。

天眼查资料显示,通威太阳能(成都)有限公司,成立于 2011 年,位于成都市,是一家以从事电力、热力生产和供应业为主的企业。企业注册资本 540000 万人民币。通过天眼查大数据分析,通威太阳能(成都)有限公司参与招投标项目 406 次,财产线索方面有商标信息 12 条,专利信息 1941 条,此外企业还拥有行政许可 960 个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为 AI 基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员

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