天眼查 APP 显示，近日，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请的 "MEMS 传感器的形成方法和 MEMS 传感器 " 专利获授权。摘要显示，本申请实施例提供 MEMS 传感器的形成方法和 MEMS 传感器，其中形成方法包括提供第一晶圆，第一晶圆具有第一面和第二面；在第一面上开设至少一个通孔，并在第一面和通孔的内壁上形成第一绝缘层；形成包括布线层和导电部的多晶硅层，导电部填充通孔，布线层覆盖第一绝缘层和导电部；在布线层上形成第二绝缘层；在第二绝缘层上形成包括敏感结构和信号传输结构的器件层，敏感结构和信号传输结构均与布线层电连接；将器件层背离第一面的一侧与第二晶圆键合；在第二面侧去除部分第一晶圆，以露出位于通孔中的导电部；形成至少一个信号引出结构，其与对应的导电部电连接。本申请提高了传感器信号传输的稳定性和产品一致性，并降低了制造成本。

（责任编辑：董映颉 HO013）

【免责声明】本文仅代表作者本人观点，与和讯网无关。和讯网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。邮箱：zbb@staff.hexun.com