钱江晚报 3小时前
这家浙大系公司造的光刻机不造芯片,却在“雕刻”前沿产业未来
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潮新闻客户端 记者 张云山 柳蓬

提起 " 光刻机 ",你是不是脑子里立刻蹦出一个画面:巨大的厂房、穿着无尘服的技术人员,还有那台动辄上亿欧元的荷兰阿斯麦?

其实光刻技术是一大类精密加工工艺,赛道远比大众认知的更广阔。杭州有家浙大系公司——杭州玉之泉精密仪器有限公司,做的就是另一种光刻机——同样具备纳米级精度,但它不造芯片,而是用于制造除芯片之外其他的纳米级结构。

玉之泉生产超净间 受访者供图

玉之泉精密布局了多条光刻技术路线:有相对知名的双光子光刻,用于雕刻各种纳米级三维结构;有对标产业级的紫外直写光刻设备,专攻高端掩膜版等半导体上游关键材料;用于感应振动、温度压力的光栅光刻,感知各类极端场景;波导光刻应用于光芯片;生物光刻刻写生命未来。

你的手机拍照为啥越来越清楚?背后离不开玉之泉

你每天刷手机、开导航、拍照片,可能从没注意过那些藏在镜头深处、比针尖还小的微透镜阵列。

这些微透镜阵列正在悄悄决定你看到的画面有多清晰。

这几年,一亿像素、大底传感器、暗光夜视……手机摄像头卷得厉害。但你有没有想过:像素越做越小,光线怎么才能精准落到每个像素点上,不浪费、不串扰?

答案,藏在一层隐形的 " 放大镜阵列 " ——微透镜阵列。它铺在图像传感器表面,将每一束光精准汇聚至感光单元,让画面更亮、噪点更少、画质更纯净。

而这层微透镜阵列的 " 母版 ",就是玉之泉用紫外灰度光刻技术刻出来的。玉之泉的无掩膜灰度光刻设备,干的就是给微透镜做 " 模具 " 的活。

它能在整片晶圆上一次性刻出成千上万颗连续光滑的微透镜,球面、非球面、自由曲面均可按需定制,面型精度可达纳米级。

" 母版 " 做好了,再交给舜宇光学这样的光学龙头企业,通过压印、注塑等工艺大批量复制,最终集成应用于手机镜头模组、车载摄像头、AR 眼镜里。

每按一次快门、车载摄像头每识别一个行人,光线穿过的那层微透镜阵列,很可能就源自玉之泉刻出的母版。

除了手机,还有更多你看不见的地方。

你开的新能源车,车头那几颗自动驾驶摄像头,要实现高动态范围成像、低光环境精准识别,靠的正是微透镜阵列的精准聚光;AR 眼镜里的光波导,为了让画面均匀铺满视野、消除干涉条纹,离不开精心设计的微透镜匀光片;工厂的机器视觉检测、医院的微型内窥镜、航天卫星上的轻量化光学系统——其中核心的微光学元件,很多都出自玉之泉的 " 母版 "。

玉之泉不做镜头,但它刻出的那套 " 模具 ",决定了微透镜能做多精、成像能做多好。而舜宇光学、水晶光电等企业,则把这套技术从实验室带进亿万台设备——一个做 " 版 ",一个做 " 量 "。

不仅如此,在可控核聚变、量子计算、生物制造、侵入式脑机接口、光通信等前沿领域,都有玉之泉的光刻机在产业上游默默支撑。

学金融的,怎么跑去造光刻机了?

张舟洋,玉之泉 CEO,浙大硕士读的是金融,当过警察、做过金融证券、干过上市公司高管,管过科研、在国企工作过、在机关工作过,但怎么看都不像一个搞硬科技创业的。

但他说,浙大教给他的,不仅是某个专业的知识,而是一种 " 跨界学习的能力 "。

" 我们公司的下游,基本上覆盖了国家‘十五五’规划中的六大未来产业。" 他说," 每接触一个新领域,你都得从头学。学校教你怎么学,比教你学什么更重要。"

话是这么说,创业哪有那么容易。他提到一个词:独立意志。

张舟洋闲暇时间喜欢爬山 受访者供图

" 你觉得对企业发展有价值的战略决策,往往过程很艰难。更难的是,你身边最亲近的伙伴、股东,可能并不理解和支持你。" 张舟洋说," 这种时候,你还要不要坚持?"

他的答案是:认定了就坚持。做成了一切好说,万一做砸了,所有后果自己扛。

" 创业的难,很多时候就难在这里。"

一台机器,同时用 " 一万支笔 " 刻一万个东西

光刻机拼到最后拼什么?张舟洋说:拼算法、系统、工艺。

" 你把我的机器拆了,零件全摆在你面前,你也复刻不出来。" 他说," 核心是对整个系统的控制——这东西藏在代码里。"

玉之泉公司里,研发团队里人数最多的就是算法工程师。

今年 7 月,玉之泉刚发布了一台 " 万通道 3D 纳米激光直写光刻机 " ——全球首创,杭州造。

光刻机的名字拗口,但一句话就能说清:以前是一支笔慢慢刻,现在是一万支笔同时刻一万个不同的东西,速度快了几千倍。

单束机器目前主要用在科研领域,万束强化了产业化的可行性——超表面、可控核聚变这些前沿方向,有些精密器件的批量产能都可以用它实现。

双光子光刻这个细分领域,玉之泉已经处于领先。

但在紫外光刻领域,张舟洋很坦诚:" 我们还在追赶国外,但只是时间问题。三到五年,争取追平,然后跑到老外前面去。"

玉之泉精密仪器杭州总部 受访者供图

三个浙大教授,为什么放心把公司交给他?

玉之泉的创始团队里,有三位浙大资深教授。高校老师搞技术、外面的人搞运营,这种组合在创业圈里翻车的案例不少——教授觉得外面的人瞎折腾,外面的人嫌教授太保守。

但玉之泉似乎没这个毛病。

在张舟洋看来,这归功于 " 老师们的格局 "。" 他们愿意相信我,把自主经营权完全放给我,这是我的幸运。" 他说," 当然,你也得拿出让人信服的东西。"

他最看重 " 信用 " 二字——说了什么,就得做到什么。

" 老师们育人无数,桃李满天下,看人的眼光是很准的。所以我们之间的信任和坦诚,是相互的。"

在团队日常运作中,他们也形成了默契:公司在产业端赚钱,反哺老师在学校的科研;老师的科研成果,反过来又提升了公司在行业内的声誉与技术深度。

" 这是一个双向奔赴的过程。" 他说。

张舟洋获奖 受访者供图

投资人评价:吹过的牛,都实现了

硬科技创业烧钱,融资是绕不开的坎。

张舟洋对投资人的态度很朴素:" 人家拿真金白银支持你,谁的钱都不是大风刮来的,必须尊重。"

玉之泉的融资还算顺利。第二轮融资时,最早投他们的那个投资人不仅继续加码,还在其他股东面前说了一句话:" 到目前为止,给我吹的牛全部实现了。"

能得到这样的评价,张舟洋觉得靠的是两样东西:一是业务和技术团队确实能吃苦、很能打;二是全体同事竭尽全力为对外说过的话兜底担当。

张舟洋给出了目标:" 双光子、光纤光栅、光波导三类光刻设备我们都是领先全球的,但是紫外光刻和国外有差距,三年内我们要争取做出全球影响力。"

从浙大玉泉校区走出来的这家公司,名字里带着 " 玉泉 " 二字。张舟洋说,他要做一家能活很久的高端仪器公司。

" 也许很多年后,管理这家公司的人已经不是我了,但没关系——我们把体制机制建设好,做一个强大的耗散结构,玉之泉会一直在,而且得越来越强,持续为强国富民贡献力量。"

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