截至收盘，中证半导体材料设备主题指数上涨 0.5%，上证科创板芯片指数接近收平，中证芯片产业指数下跌 0.2%，上证科创板芯片设计主题指数下跌 0.7%。同花顺 iFinD 数据显示，半导体设备 ETF 易方达（159558，联接基金 A/C：021893/021894）今日获 6300 万份净申购。

方正证券指出，受益于 AI 基建投资加速、器件架构复杂度提升及 HBM 等高性能需求，全球半导体设备需求持续强劲增长。据 SEMI 报告，预计 2026 年全球半导体设备销售额将达到 1659 亿美元新高，同比增长 23.2%，2028 年设备市场规模将达到 2295 亿美元，实现连续五年增长；供给端国内厂商在刻蚀、沉积、清洗、CMP 等领域已取得国产化率提升的突破。