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Innovation Express News

2026 年 10 月 14 日 16:08:06

微导纳米发布 iMagtron 系列磁控溅射系统和 iTomic MeT 系列原子层沉积系统 Ru 工艺

《科创板日报》14 日讯，在今日的 2026 湾芯展开幕式上，微导纳米发布新产品及新工艺。其中，新产品为 iMagtron 系列磁控溅射系统设备，具备包括整体尺寸更紧凑；采用模块化设计，同一系统满足不同应用和技术节点 Cu1-Cu4 不同工艺需求；整体工艺上针对各个应用痛点，如 Ta/TaN 优化设计，PK LifeTime 优化 50% 以上等优点。其新工艺为 iTomic MeT 系列原子层沉积系统 Ru 工艺。微导纳米通过原子级的形核调控技术，在多种衬底上实现＜5nm 连续 Ru 薄膜成膜，关键指标达到量产参考水平。 （科创板日报记者 黄修眉）

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