6 月 17 日 A 股市场走势分化，上证指数飘绿，跌幅 0.16%，创业板指飘红，涨幅 0.46%。半导体设备板块表现亮眼，跟踪中证半导体材料设备主题指数的半导体设备 ETF 国泰（159516）盘中大涨超 5%，成交额 18.90 亿元，目前已连涨 2 天。

资金流向方面，该 ETF 已连续 3 个交易日实现资金净流入，其中 2026 年 6 月 12 日净流入 6.34 亿元，6 月 15 日净流入 5.39 亿元，6 月 16 日净流入 4.78 亿元，近 5 日合计资金净流入 11.29 亿元。份额数据显示，其总份额自 6 月 11 日的 162.33 亿份增长至 174.37 亿份，增幅达 7.4169%，最新规模为 242.78 亿元。

半导体材料和设备是半导体产业的核心支撑环节，也是国产替代进程的关键领域，行业中长期成长逻辑明确。华西证券指出，受进口管制升级影响，浸没式光刻机、低温蚀刻、薄膜沉积等关键制程设备国产替代逻辑持续受益，半导体设备板块拥挤度处于较低分位，仍具较高配置性价比，可积极布局。

半导体设备 ETF 国泰（159516）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取 40 只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为样本，反映板块整体表现，为投资者布局半导体设备赛道提供了高效的指数化工具。

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