$ 广钢气体 ( SH688548 ) $  

广钢气体（688548）自主研发了亚超临界二氧化碳输送技术，打破了海外垄断，核心情况如下：

应用方向：半导体硅片清洗工序。亚超临界 CO ₂兼具气体和液体的双重物理特性，具有极其优异的溶解能力，可显著提高半导体成品良率、降低污染和设备成本。

技术突破：公司自主研发输送技术，突破了多项关键核心技术瓶颈，相关成果已在北京广钢、安徽广钢等项目实现产业化应用。

最新专利：2026 年 6 月 30 日，公司获得 " 一种芯片清洗用亚临界二氧化碳供应系统 " 专利授权，该系统连续供应性和稳定性更强。

市场前景：研报认为该业务具备 " 长坡厚雪 " 特征，随着半导体巨头持续采用，有望成为公司新的利润增长极。

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