证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为 " 一种清洁 ARM 上药液的装置 "，专利申请号为 CN202522030060.4，授权日为 2026 年 9 月 11 日。

专利摘要：本申请公开了一种清洁 ARM 上药液的装置，涉及晶圆制造设备清洗的领域，其包括装置腔体和装置基座，ARM 装置位于装置腔体内，所述装置基座连接于装置腔体内，所述装置基座上安装有清水管，所述清水管的管口朝向 ARM 装置，本申请通过清水管对工作后的 ARM 装置进行表面清洁，有效地去除残留在 ARM 装置表面的化学药液，减小这些残留药液在后续传递晶圆的过程中产生的负面影响。

今年以来至纯科技新获得专利授权 12 个，较去年同期减少了 61.29%。结合公司 2026 年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了 1.41 亿元，同比增 19.28%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了 45 家企业，参与招投标项目 79 次；财产线索方面有商标信息 107 条，专利信息 344 条，著作权信息 32 条；此外企业还拥有行政许可 56 个。

数据来源：天眼查 APP

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