国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为 " 载片舟及半导体工艺设备 " 的专利，公开号 CN122856148A，申请日期为 2025 年 3 月。

专利摘要显示，本公开提供一种半导体工艺设备及其载片舟。载片舟具有沿第一方向相对的第一端和第二端，并且载片舟包括：沿第二方向间隔排布的多个舟片，第二方向与第一方向相交；各舟片在第一端具有舟耳和至少一个凸起部，凸起部与舟耳在第三方向上间隔设置，第三方向分别与第一方向和第二方向相交；多个舟片中各相邻两个舟片的凸起部在垂直于第二方向的平面上的正投影至少部分重叠。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于 2001 年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本 114153.708311 万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了 8 家企业，参与招投标项目 1523 次，财产线索方面有商标信息 75 条，专利信息 5968 条，此外企业还拥有行政许可 337 个。

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